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Über LED-Chip-Sunshinelux

Dezember 09, 2022

  

  Der Hauptzweck der Herstellung von LED-Chips besteht darin, effektive und zuverlässige niederohmige Kontaktelektroden herzustellen und den relativ geringen Spannungsabfall zwischen kontaktierbaren Materialien auszugleichen und Druckpads für Bonddrähte bereitzustellen, während so viel Licht wie möglich emittiert wird. Der Filmübergangsprozess verwendet im Allgemeinen das Vakuumverdampfungsverfahren unter 4 Pa ​​Hochvakuum, das Material wird durch Widerstandsheizung oder Elektronenstrahlbeschussheizung geschmolzen und wird unter niedrigem Druck zu einer Metalldampfabscheidung auf der Oberfläche des Halbleitermaterials.

  Allgemein verwendete Kontaktmetalle vom P-Typ umfassen Legierungen wie AuBe und AuZn, und AuGeNi-Legierungen werden häufig als Kontaktmetalle auf der N-Oberfläche verwendet. Die nach dem Beschichten gebildete Legierungsschicht muss auch den lichtemittierenden Bereich durch den Fotolithografieprozess so weit wie möglich freilegen, damit die verbleibende Legierungsschicht die Anforderungen an effektive und zuverlässige niederohmige Kontaktelektroden und Schweißdraht-Andruckkissen erfüllen kann. Nach dem Fotolithografieprozess ist ein Legierungsprozess erforderlich, und das Legieren wird gewöhnlich unter dem Schutz von H2 oder N2 durchgeführt. Die Zeit und Temperatur des Legierens werden gewöhnlich gemäß den Eigenschaften des Halbleitermaterials und der Form des Legierungsofens bestimmt. Wenn der Chipelektrodenprozess wie Blau und Grün komplizierter ist, ist es notwendig, das Wachstum des Passivierungsfilms und den Plasmaätzprozess zu erhöhen.

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